準(zhǔn)LIGA技術(shù)是用紫外光光源來(lái)代替LIGA技術(shù)中的同步輻射X光深層光刻，然后進(jìn)行后續(xù)的微電鑄和微復(fù)制工藝。它不需要像LIGA技術(shù)所需的同步輻射X光光刻和特制的X光掩模板，從而實(shí)現(xiàn)微機(jī)械器件的大批量生產(chǎn)。

特點(diǎn)	LIGA技術(shù)	準(zhǔn)LIGA技術(shù)
光源	同步輻射X光	普通紫外光（波長(zhǎng)為350-450 nm）
掩模板	以金為吸收體的X射線掩模板	標(biāo)準(zhǔn)鉻掩模板
光膠	常用聚甲基丙烯酸甲酯	常用SU-8負(fù)光膠
深寬比	一般≤100，最高可達(dá)500	一般≤10，最高可達(dá)30
膠膜厚度	幾十微米到1000μm	幾微米到幾十微米，最高可達(dá)680 μm
生產(chǎn)周期	較長(zhǎng)	較短
生產(chǎn)成本	較高	較低，約為L(zhǎng)IGA技術(shù)的1/100
側(cè)壁垂直度	大于89.9°	大于88°
最小尺寸	亞微米	微米
加工溫度	常溫至50℃左右	常溫至50℃左右
加工材料	塑料、金屬、陶瓷等	塑料、金屬、陶瓷等