等離子體亦被稱為物質(zhì)的第四態(tài)

最早在1920年代，Langmuir等人首先研究等離子體中的現(xiàn)象，而在1929年Langmuir使用了「等離子體（plasma）」來敘述此一離子化氣體的現(xiàn)象。物質(zhì)變?yōu)闅鈶B(tài)后繼續(xù)升溫幾千攝氏度甚至更高，致使正、負電荷的數(shù)量或密度基本相等而形成的電中性物質(zhì)的集合體，導電性很強。

等離子體(plasma)又叫做電漿，是由部分電子被剝奪后的原子及原子團被電離后產(chǎn)生的正負離子組成的離子化氣體狀物質(zhì)，尺度大于德拜長度的宏觀電中性電離氣體，其運動主要受電磁力支配，并表現(xiàn)出顯著的集體行為。若對物質(zhì)施加高溫或加速電子、加速離子等能量，中性物質(zhì)會透過激發(fā)、解離、離子化等反應而產(chǎn)生分子（molecules）、原子（atoms）、受激態(tài)物質(zhì)（excited species）、電子（electrons）、正離子（positive ion）、負離子（negative ion）、自由基（free radical）、UV光、可見光等物質(zhì)，而這些物質(zhì)混合在一起的狀態(tài)就稱之等離子體。等離子體跟固體、液體、氣體都不同，是物質(zhì)的第四態(tài)。據(jù)估計，宇宙中99%以上的物質(zhì)是以等離子態(tài)存在的。等離子體技術目前已被廣泛應用。

等離子體是一團正離子、電子、自由基及中性氣體原子所組成會發(fā)光的氣體團，如日光燈、霓虹燈發(fā)亮的狀態(tài)，就是屬于等離子體發(fā)亮的狀態(tài)。

1.如何產(chǎn)生等離子體？

等離子體的產(chǎn)生主要是靠電子去撞擊中性氣體原子，使中性氣體原子解離而產(chǎn)生等離子體，但中性氣體原子的原子核對其外圍的電子有一束縛的能量，我們稱它為束縛能，而外界的電子能量必須大于此束縛能，才會有能力解離此中性氣體原子。但是，此外界的電子往往是能量不足的，沒有解離中性氣體原子的能力，所以，我們必須用外加能量的方法給電子能量，使電子有能力解離此中性氣體原子。

要外加能量給電子，最簡單的方法就是用平行電極板加一直流電壓，電子在電極中，會被帶正電之電極所吸引而加速，在加速的過程中，電子就可以累積能量，當電子的能量達到某一程度時，就有能力來解離中性氣體原子。本公司產(chǎn)品主要以感應耦合式等離子體（ICP, Inductively Coupling Plasma）技術為基礎，感應耦合式等離子體系一高密度等離子體，等離子體密度可以高達1012 ~ 1013 /cm3，對于產(chǎn)品之等離子體處理具備很高之效益，不過，高密度感應耦合式等離子體之產(chǎn)生取決于電極的設計，因此電極的設計便成了等離子體產(chǎn)生之最重要課題。

2.等離子體在產(chǎn)業(yè)上的應用

· 印刷電路板產(chǎn)業(yè)

· IC∕LED封裝產(chǎn)業(yè)

· LCD∕OLED產(chǎn)業(yè)

· 光電產(chǎn)業(yè)

· 半導體產(chǎn)業(yè)

· 其它科技及民生工業(yè)

        汶顥提供等離子清洗機、等離子體處理機設備。