熱膨脹驅(qū)動型微閥屬于主動型集成機械驅(qū)動微閥，采用氣體或液體加熱體積膨脹使膜片彎曲的方式驅(qū)動微閥。這種微閥已經(jīng)被應(yīng)用于許多微流體器件中，因為它能夠提供足夠的微閥驅(qū)動力和足夠的位移，而且，熱膨脹驅(qū)動型微閥的結(jié)構(gòu)十分簡單，加工方便。