• 光刻機的曝光模式a.接觸式曝光（Contact Printing）：掩膜板直接與光刻膠層接觸。曝光出來的圖形與掩膜板上的圖形分辨率相當(dāng)，設(shè)備簡單。接觸式，根據(jù)施加力量...2016-12-08 14:34:46
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• 中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所研制出實用深紫外光刻機為基臺（已經(jīng)銷售550臺，其中出口30多臺），配有高精度對準(zhǔn)模塊、真空曝光模式、雙面曝光模式、納米壓印模式、接近式模式、數(shù)字設(shè)定曝光間隙等諸多功能供...2017-07-28 16:03:16