• Nikon光刻機對準(zhǔn)機制和標(biāo)記系統(tǒng)研究在上表中給出標(biāo)記圖案幾何中心的坐標(biāo)值。關(guān)于各對準(zhǔn)標(biāo)記的圖形，可參考Nikon光刻機用戶說明書中的相關(guān)部分。我們實際所設(shè)計的掩模版是I線和G線光刻機都...2018-01-31 09:33:17