產(chǎn)品名稱：

中國(guó)光電URE-2000B型光刻機(jī)

URE-2000B型紫外光刻機(jī)主要技術(shù)特點(diǎn)：　

　  該機(jī)采用i線紫外曝光光源，光學(xué)系統(tǒng)采用特殊的消衍射和線條陡直增強(qiáng)技術(shù)，采用積木錯(cuò)位繩眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明，并配備了雙目雙視顯微鏡和CCD圖象對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)（可同時(shí)使用），曝光能量高，聚光角度小，突具厚膠曝光功能，曝光設(shè)定采用微機(jī)控制，菜單界面友好，操作簡(jiǎn)便。 

技術(shù)參數(shù)：

1．技術(shù)參數(shù)

◆曝光面積：110mm×110mm

◆分辨力：0.8μm（膠厚2μm的正膠）

◆對(duì)準(zhǔn)精度：±1μm

◆最大焦厚：600mm（SU8膠，用戶提供檢測(cè)條件）

◆曝光波長(zhǎng)：365nm

◆光源平行度：2?

◆掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：6mm;Y:6mm

◆掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

◆樣片尺寸：直徑f15mm--f100mm(可適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片)

               厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)

◆照明均勻性：±3%（f100mm范圍）

◆掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X:±5mm;   Y:±5mm;q:±6度

◆曝光能量密度：>18mW/cm

◆汞燈功率：1000W（直流）

◆曝光設(shè)定方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式0.1s-999.9s任意設(shè)定）

◆外形尺寸：1400mm（長(zhǎng)）?1200mm(寬)?1850mm（高）

配置：

（1）曝光頭

◆ 冷光橢球鏡

◆ 1000W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)

◆XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

◆光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡1、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（100個(gè)透鏡）、i線濾光片、場(chǎng)鏡1、場(chǎng)鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2

◆冷卻風(fēng)扇

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

◆掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)

◆掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

◆轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

◆樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成

◆樣片自動(dòng)調(diào)焦機(jī)構(gòu)

◆承片臺(tái)4個(gè)（?15mm 、2英寸、3英寸、4英寸）

  掩模夾4個(gè)（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）

◆掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)

（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡及CCD對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

◆光源、電源

◆雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

◆目鏡3對(duì)（10倍、16倍、20倍，共6個(gè)）

◆物鏡3對(duì)（4倍、10倍、20倍，共6個(gè)）

◆CCD

◆21英寸液晶顯示器

（4）電控系統(tǒng)

◆汞燈觸發(fā)電源(1000W直流汞燈)

◆單片機(jī)控制系統(tǒng)

◆控制柜桌

（5）氣動(dòng)系統(tǒng)

◆氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

◆電磁閥驅(qū)動(dòng)

◆氣動(dòng)儀表

（6）其他附件

◆真空泵一臺(tái)（無(wú)油泵）

◆空壓機(jī)一臺(tái)（靜音泵）

◆管道

（7）技術(shù)資料

◆使用維修說(shuō)明書(shū)

◆顯微鏡使用說(shuō)明書(shū)