在液晶面板生產(chǎn)中，顯影機是一種重要設備，顯影室的潔凈度和顯影效果是影響產(chǎn)品工藝和性能的重要因素，定期保養(yǎng)顯影機設備的各機構部位，可保證顯影機的動作正確，并確保顯影機的質(zhì)量符合要求，還能提升設備的使用壽命，節(jié)省人力物力。

1 顯影機的作用

傳輸作用：連接上游和下游設備，有效地傳輸基板。

過程作用：對于負光阻值，涂布后的面板未曝光部分光阻與顯影液發(fā)生作用，未曝光部分光阻溶解，洗凈后需要的部分。在正的光阻下，曝光部分光阻與顯影液發(fā)生作用，使曝光部分被溶解，洗凈，留下所需部分，達到液晶面板生產(chǎn)的工藝要求。

2 顯影機的主要結構

顯影室：包含水管，噴嘴，搖臂，Roller，顯影Nozzle。

水洗室：包含水管，噴嘴，Roller，水洗Nozzle，風刀。

移動和移動Conveyor：包含Roller，旋轉(zhuǎn)角度Conveyor。

3 顯影機故障內(nèi)容。

機械故障：傳送結構的故障卡死，導致移動異常，或出現(xiàn)破裂。

操作不當：由于光阻性溶解物在腔內(nèi)或管道內(nèi)長期使用，導致噴淋裝置堵塞，噴灑效果不加，造成顯影Mura或者顯影不良，所以需要定期對顯影機進行保養(yǎng)維護作業(yè)。

4 維修保養(yǎng)內(nèi)容。

裝置殼體及蓋板：1、用純水浸濕的無塵布擦拭設備外殼，及顯影室、水洗室蓋。2污物不能擦去純水可以用無塵酒精擦拭。

清洗：1.將Tank內(nèi)顯影液體廢液洗凈并排空后用水槍沖洗Tank內(nèi)各部位，再用純水或酒精擦拭無塵布，然后擦拭內(nèi)壁。清洗完畢后再用水槍沖洗Tank，直到無塵抹布擦下無贓物。清洗后將純凈水加入洗滌劑中，待顯影機維護完畢后再進行顯影作業(yè)。

清洗清洗：1.將提花內(nèi)純水排空，用無塵布對內(nèi)壁和管壁進行清洗。2清洗后加入純水，待顯影機維護完畢后再加入顯影機。

清洗顯影室：1用高壓水槍沖洗顯影包內(nèi)壁、羅勒、搖臂及污染部位。2、使用無塵布，可以沾上純水或酒精擦拭內(nèi)壁、羅勒、搖臂等污染部位。3檢查噴嘴和顯影噴灑狀態(tài)，更換堵塞和噴灑不良的噴嘴，用塞尺Nozzle清洗。4用高壓水槍沖洗Chamber、Chamber的內(nèi)壁和底部。5將顯影Roller轉(zhuǎn)換成移動方式，檢查各旋轉(zhuǎn)軸和軸承轉(zhuǎn)動情況，對轉(zhuǎn)動異常部位進行更換和修理。6打開顯影室噴淋和搖晃，用純水沖洗干凈，直到顯影室內(nèi)部干凈為止，顯影Chamber內(nèi)濾網(wǎng)清理完畢，避免濾網(wǎng)堵塞而引起積液。

清洗室內(nèi)清潔：1用高壓水槍沖洗Chamber內(nèi)壁、Roller及污染部位。2、使用無塵布，可以沾上純水或酒精，擦拭內(nèi)壁、羅勒等污染部位。3檢查噴嘴和水洗噴頭噴灑情況，更換堵塞的噴嘴和噴水不良的噴嘴，用塞尺清洗Nozzle。4用高壓水槍沖洗Chamber及Chamber內(nèi)壁和底部的水管。5用干無塵布清洗AK段風刀和圓管。6將水洗后的Roller轉(zhuǎn)換成移動方式，檢查各滾筒和軸承轉(zhuǎn)動情況，對轉(zhuǎn)動異常部位進行更換和修理。

移動、移出和Roller:1使用寢有丙酮的無塵布對移動入口的上下側(cè)實施。2用干的無塵布對移動到Roller進行清潔。3轉(zhuǎn)換成移動方式，檢查各滾筒和軸承轉(zhuǎn)動情況，對轉(zhuǎn)動異常部位進行更換和修理。

過濾器：檢查更換的濾芯，并用無塵清潔FilterHouse。

維護效果檢查1、目視檢查法及用干凈的無塵抹布擦干凈。2判定標準各機構運行正常，擦拭無塵布表面無污染。

自動噴淋操作：1將顯影提花灑入純水后，將其送至顯影室和水洗室。2.將顯影Tank廢液顯影注入顯影液后，對顯影液進行自動噴淋操作。3將顯影及水洗后的廢液，顯影機改變準備動作，待準備動作結束后更改為自動模式。

5注意事項

在維護保養(yǎng)前需先穿著佩戴好防護用品，注意作業(yè)安全。

同一塊無塵布勿擦拭不同種類的部位，如內(nèi)壁與Roller。

注意水槍等硬物不要接觸到風刀。

擦拭過程勿碰壞Sensor。