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'關鍵字: LIGA技術'
- LIGA技術和準LIGA技術優(yōu)缺點對比準LIGA技術是用紫外光光源來代替LIGA技術中的同步輻射X光深層光刻,然后進行后續(xù)的微電鑄和微復制工藝。它不需要像LIGA技術所需的同步輻射X光光刻...2017-10-25 09:53:33
- 微流控芯片的加工制作技術聚合物芯片,重復性好,生產周期短,成本低廉,適宜于已成型的芯片生產。LIGA技術LIGA是德文Lithographie,Galvanoformung...2025-06-05 10:31:19
- S型微流控芯片的優(yōu)勢微流控芯片的制造方法包括光刻法、數(shù)控機加工、熱壓法、模塑法、注塑法、LIGA技術、激光刻蝕等。這些技術確保了微流控芯片的高精度和復雜性,使其在科學研...2024-11-01 08:57:39
- 微流控芯片3大制作技術T)的關鍵技術?,F(xiàn)在微流控行業(yè)對芯片的生產制作技術主要有3種:(1)LIGA技術LIGA是德文Lithographie,Galvanoformung...2024-08-29 09:41:06
- 微流控芯片的微細加工新技術??捎糜谠诰奂谆┧峒柞?,聚碳酸酯等可光解高分子材料上加工微通道。LIGA技術LIGA技術是由光刻、電鑄和塑鑄三個環(huán)節(jié)組成。第一步為同步輻射深度X...2023-06-29 09:20:56
- 微流控技術三十年發(fā)展史(二)鐵心的三維線圈以及制造轉子元件。DEEMO(干蝕刻、電鍍、模塑)作為LIGA技術的進一步擴展而存在,并已被證明是生產用于壓花的印章和模具的一種可行方...2023-01-17 13:24:03
- 微流控芯片的制作技術物芯片,重復性好,生產周期短,成本低廉,適宜于已成型的芯片生產。五、LIGA技術LIGA是德文Lithographie,Galvanoformung...2021-10-14 15:29:00
- 微流控技術的原理、制備以及應用芯片,重復性好,生產周期短,成本低廉,適宜于已成型的芯片生產。(5)LIGA技術LIGA是德文Lithographie,Galvanoformung...2018-02-24 09:04:10
- 光刻膠成分及用途有比較低的對比度?!す饪棠z的抗刻蝕比盡量和襯底材料的接近。6.3. LIGA技術由厚膠曝光形成深結構的目的是進行電鑄,使之轉化為金屬深結構,因為只有...2017-10-31 17:26:19
- 微流控分析芯片的加工技術可用于在聚甲基丙烯酸甲酯,聚碳酸酯等可光解高分子材料上加工微通道。⑦LIGA技術LIGA技術是由光刻、電鑄和塑鑄三個環(huán)節(jié)組成。第一步為同步輻射深度X...2017-10-12 09:24:20